等離子體指部分或完全電離的氣體,且自由電子和離子所帶正、負電荷的總和完全抵消,宏觀上呈現(xiàn)中性電。等離子體又叫做電漿,是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負電子組成的離子化氣體狀物質,它廣泛存在于宇宙中,常被視為是除去固、液、氣外,物質存在的第四態(tài)。
應用領域介紹
等離子設備主要適用于各種材料的表面改性處理:表面清洗、表面活化、表面刻蝕、表面接枝、表面沉積、表面聚合以及等離子體輔助化學氣相沉積:
1.表面改性
紙張粘合,塑料粘接、金屬錫焊、電鍍前的表面處理
2.表面活化
生物材料的表面修飾,印刷涂布或粘接前的表面處理,如紡織品的表面處理
3.表面刻蝕
硅的微細加工,玻璃等太陽能領域的表面刻蝕處理,醫(yī)療器皿表面刻蝕處理
4.表面接枝
材料表面特定基團的產(chǎn)生和表面活化的固定
5.表面沉積
疏水性或親水性層的等離子體聚合沉積
廣泛應用于金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等多種領域,是企業(yè)、科研院所進行等離子體表面處理的理想設備。